首款商业航天专用MEMS陀螺仪流片成功
12月21日,国产MEMS传感器厂商华芯拓远(天津)科技有限公司(下文简称“华芯”),官宣成功实现首款商业航天专用MEMS陀螺仪流片。
该产品采用华芯玲瓏芯D系列MEMS陀螺仪敏感结构,据此前资料显示,“玲瓏芯”D10000Z系列高性能MEMS陀螺仪,采用华芯自主研发的四质量双音叉MEMS创新结构设计,内置自主知识产权的攻玉信号调理专用芯片(ASIC),并经过系统级CLCC陶瓷真空封装工艺打造而成。该系列产品的量产将大幅降低国内商业卫星、无人机、自动驾驶、智能装备等高端装备领域对进口MEMS陀螺仪的依赖,有力提升产业链的安全性和竞争力,推动相关产业技术不断升级。
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