安泰高压放大器在等离子体发生装置研究中的应用
等离子体发生装置通过外部能量输入使气体电离生成等离子体,在工业制造、材料科学、生物医疗等领域应用广泛。高压放大器作为能量供给的核心器件,直接影响等离子体的生成效率、稳定性和可控性。
图:ATA-67100高压放大器在介质阻挡放电等离子体激励器中的应用
一、高压放大器在等离子体发生装置中的作用
(一)驱动和维持等离子体放电
等离子体放电需高能量电源提供足够电流和电压。高压放大器可将低电压、小电流信号放大为高电压、大电流输出,驱动和维持放电。如在容性耦合等离子体(CCP),要求放大器输出频率覆盖kHz至MHz范围,波形失真率低于1%。
(二)等离子体加热
等离子体实